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NS-H2

CVD ALD Process NS-H2

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  • 적용 분야

  • 반도체 박막공정 (유독가스 흡착)

  • Appearance

  • Ball

  • size

  • Ø2~4mm

  • Component

  • Metal Oxide

  • Target gases

  • SiH4, SiH2Cl2